硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和硅氢化合物。目前应用多的是甲硅烷，一般把甲硅烷简称做硅烷。硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层。硅烷的高科技应用还在不断出现,包括用于制造陶瓷、复合材料、功能...

泵吸式臭氧检测仪主要应用于臭氧气体泄漏的场合。臭氧检测仪主要由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、翰出显示、电路部件构成。臭氧氧化可变色试剂浸渍在载体上作为反应剂封装内径的玻璃管内做成检测管，使用时将检测管两端切断，把抽气器接到检测管出气端吸取定量臭氧气体，臭氧浓度与检测管内反应剂柱变色长度成正比，通过刻度值读取浓度值。臭氧检测仪优点：Epsion数据处理系统，高效预警毒气泄漏。抗干扰性能：抗强磁干扰/抗杂质气体干扰。多级校准...